製品情報
| 製品名 | 特殊二ケイ化モリブデン発熱体 |
| ブランド | YTTORCH |
| 起源型番 | 中国 |
| 産地 | 40-017 半導体特殊タイプ |
| 推奨温度クラスモデル | MR1800タイプ TC1800タイプ TC1700タイプ |
| 形状 | カスタムメイド |
| サイズと 尺寸 | カスタムメイド |
| 特点 | １・精密加工により製造され、高い発熱パワーを有し、電気炉に均一な熱場を提供することができます 2.顧客の使用要求に応じて、相応の形状を作成することができます。使用中に一定の性能を維持し、使用寿命が長いです 3.ワイヤよりも高い表面負荷と急速昇温制度（速冷、急速昇温）に耐えることができます 4.小型から大型のウエハまで、さまざまなサイズに対応できます 5.高温での使用は対応する設備の清潔性を確保することができます |
| 適用範囲 | 半導体ウエハ用電気炉。 円筒型電気ストーブ。 |
技術データ
物理的特性:
| 製品タイプ | 密度-g/cm3 | 室温曲げ強さ-MPa | 硬度-GPa | 圧縮強度-MPa | 吸水率-% | 熱伸び率-% |
| TC1700 | 5.8±0.1 | 450 | 11 | >1500 | ≤0.2% | 4 |
| TC1800 | 6.0±0.1 | 500 | 12 | >1500 | ≤0.2% | 4 |
| MR1800 | 5.9±0.1 | 430 | 11.5 | >1500 | ≤0.2% | 4 |
化学的特性:
高温酸化耐性: 高温酸化雰囲気下では、コンポーネントの表面に緻密な石英 (SiO2) 保護層が形成され、MoSi2 が酸化し続けるのを防ぎます。部品の温度が 1700°C を超えると、融点 1710°C の SiO2 が溶けて、表面張力の影響で液滴になり、保護効果が失われます。コンポーネントが酸化雰囲気にあり、使用を続けると、SiO2 保護層が再生されます。
ケイ化モリブデン電気発熱体は400～700℃の範囲で長時間使用しないでください。そうしないと、低温での強い酸化により発熱体が粉砕されてしまいます。
コンポーネントの動作温度に対するさまざまな雰囲気の影響:
| 雰囲気雰囲気 | 1 7 0 0 型 | 1 8 0 0 型 |
| エアエア | 1700 | 1800 |
| N₂ Nitrogen | 1600 | 1700 |
| He Ar Ne アルゴン、ヘリウム | 1600 | 1700 |
| ドライ水素（露点）-80℃ | 1150 | 1150 |
| 湿潤水素（露点）-20℃ | 1450 | 1450 |
| 混合ガス (例: 10%CO2、5%CO2、15%H₂) | 1600 | 1700 |
| 混合ガス (例: 40%H₂、20%CO) | 1400 | 1450 |
ひび割れして部分的に燃えたアンモニア (8%H₂) ひび割れて 部分的に燃焼したアンモニア | 1400 | 1450 |
煙台火炬特種高温セラミック有限会社
18615005505
0535-6891305,6891306,6893911
evawei@torch-mosi.com
www.torch-mosi.com
山東省煙台市雷山区秀林路9号