製品情報
製品名 | 特殊二ケイ化モリブデン発熱体 |
ブランド | YTTORCH |
産地 | 中国 |
型番 | 56-002 半導体特殊タイプ |
推奨温度クラスモデル | MR1800タイプ TC1800タイプ TC1700タイプ |
形状 | カスタムメイド |
サイズと 尺寸 | カスタムメイド |
元件温度 (空气气氛) | 1700℃ |
特点 | 1・精密加工により製造され、高い発熱パワーを有し、電気炉に均一な熱場を提供することができます 2.顧客の使用要求に応じて、相応の形状を作成することができます。使用中に一定の性能を維持し、使用寿命が長いです 3.ワイヤよりも高い表面負荷と急速昇温制度(速冷、急速昇温)に耐えることができます 4.小型から大型のウエハまで、さまざまなサイズに対応できます 5.高温での使用は対応する設備の清潔性を確保することができます |
適用範囲 | 半導体ウエハ用電気炉。 円筒型電気ストーブ。 |
技術データ
物理的特性:
产品类型 | 密度-g/cm3 | 室温弯曲强度-MPa | 硬度-GPa | 压缩强度-MPa | 吸水率-% | 热伸长率-% |
TC1700 | 5.8±0.1 | 450 | 11 | >1500 | ≤0.2% | 4 |
TC1800 | 6.0±0.1 | 500 | 12 | >1500 | ≤0.2% | 4 |
MR1800 | 5.9±0.1 | 430 | 11.5 | >1500 | ≤0.2% | 4 |
化学的特性:
高温酸化耐性: 高温酸化雰囲気下では、コンポーネントの表面に緻密な石英 (SiO2) 保護層が形成され、MoSi2 が酸化し続けるのを防ぎます。部品の温度が 1700°C を超えると、融点 1710°C の SiO2 が溶けて、表面張力の影響で液滴になり、保護効果が失われます。コンポーネントが酸化雰囲気にあり、使用を続けると、SiO2 保護層が再生されます。
ケイ化モリブデン電気発熱体は400~700℃の範囲で長時間使用しないでください。そうしないと、低温での強い酸化により発熱体が粉砕されてしまいます。
コンポーネントの動作温度に対するさまざまな雰囲気の影響:
雰囲気雰囲気 | 1 7 0 0 型 | 1 8 0 0 型 |
エアエア | 1700 | 1800 |
N₂ Nitrogen | 1600 | 1700 |
He Ar Ne アルゴン、ヘリウム | 1600 | 1700 |
ドライ水素(露点)-80℃ | 1150 | 1150 |
湿潤水素(露点)-20℃ | 1450 | 1450 |
混合ガス (例: 10%CO2、5%CO2、15%H₂) | 1600 | 1700 |
混合ガス (例: 40%H₂、20%CO) | 1400 | 1450 |
ひび割れして部分的に燃えたアンモニア (8%H₂) ひび割れて 部分的に燃焼したアンモニア | 1400 | 1450 |